試驗室供氣需求

目前大多數(shù)試驗室中的各種分析儀器如氣相色譜儀、氣相色譜質譜儀、液相色譜質譜儀、原子吸收分光光度計、原子熒光光度計、等離子發(fā)射光譜儀、電感耦合等離子質譜儀等都需要連續(xù)使用高純載氣和燃氣，因此試驗室的安全、連續(xù)、穩(wěn)定運行需要我們考慮如何將這些氣體供到各試驗室中放置的分析儀器。并能夠保證標準氣體流量、壓力穩(wěn)定和量值傳遞不發(fā)生變化，滿足分析檢測設備對使用氣體的技術要求。

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特種氣體鋼瓶在運輸和儲存的注意事項

由于特種氣體產(chǎn)品的潛在危險性，如氧氣遇油脂著火，氣瓶倒下使閥門拆斷引起飛瓶，惰性氣體引起窒息等等。所以在氣體使用、搬運及儲存中應注意的一些安全事項。

氣體鋼瓶在運輸和裝卸過程中應輕裝輕卸，嚴禁拋、滑、滾及劇烈碰撞。              

使用氣體前應按要求將合格的減壓閥連接到氣瓶上，并清潔連接軟管。不同氣體的氣瓶使用時不要使用同一個減壓閥。

不應在封閉空間內用惰性氣體（如氮氣、二氧化碳等）進行實驗分析、燒焊、低溫冷藏、吹除等等。  

燒焊時，應對氣體及電氣采取適當?shù)谋Ｗo措施。不要使用損壞的設備，如軟管、電纜及焊槍等。              

特種氣體氣瓶存放區(qū)應比較干燥，并有良好通風，嚴禁明火和其它熱源，嚴禁曝曬可燃氣瓶或氧氣瓶附近嚴禁吸煙，氣瓶不應接觸到火花、火焰、熱氣及電路。

在儲存、運輸及使用杜瓦罐時不能使其臥倒，應永遠使杜瓦罐保持直立狀態(tài)。 

特種氣體使用安全

首先,應對特氣的危害性進行分析,通過本質安全設計,消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏,確保系統(tǒng)密閉性。鋼瓶和管道閥門應選用隔膜或波紋管密封閥門。（1）特氣柜又分為全自動特氣柜與半自動特氣柜，每種氣柜的維護方法有一定的區(qū)別。管道系統(tǒng)應采用焊接系統(tǒng),機械接頭均應置于抽風罩內。排放氣體應進行安全處理。氣體輸送設備具有緊急切斷功能。操作應遵循標準操作規(guī)程。

其次,采用監(jiān)測手段,預防事故發(fā)生。設置氣體泄漏偵測器,監(jiān)控氣體泄漏?？扇夹詺怏w應設置高溫或火焰?zhèn)蓽y器。危險氣體應設置過流開關。在半導體工業(yè)中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20～30種。特氣系統(tǒng)氣柜應進行負壓監(jiān)測,防止抽風系統(tǒng)的失效。偵測系統(tǒng)應與報警和緊急切斷連鎖。系統(tǒng)還應進行遠程監(jiān)控。監(jiān)控系統(tǒng)應設置不間斷電源。